年产150万片6″、8″硅外延片产业化
公司基本情况
洛阳单晶硅有限责任公司(简称洛硅公司)成立于1998年3月18日,注册资本为9526万元,主要从事多晶硅、单晶硅(FZ、CZ)及硅片等半导体材料的加工生产。公司在1995年12月将三分厂和美国MEMC合资,成立了麦斯克电子材料有限公司,引进了先进生产设备和管理技术,生产4″、5″单晶硅及硅片全部达到美国MEMC公司同类产品水平,产品质量已达到国际IC级硅抛光片的先进水平,50%的产品进入国际市场。公司已通过了英国Yarsley和中国赛宝质量认证中心的ISO认证。
主要管理者情况
公司董事长兼总经理孙文海先生,1982年毕业于东北工学院分配至洛阳单晶硅厂工作,是位年富力强具有开拓精神的优秀企业管理者。
项目描述
1、年产150万片6″、(含8″)硅外延片高技术产业化项目。
2、产品名称:
6″(P/P+、n/n+、P/n+、n/P+)硅外延片 130万片/年
8″(P/P+、n/n+、P/n+、n/P+)硅外延片 20万片/年
3、项目技术可行性分析:
A.洛阳硅公司已具备6″硅单晶及硅抛光片自主知识产权,产品标准达到国外同类产品水平, 4″、5″、6″硅抛光片占国内产量的20%以上,主要销往国外市场。
B.6″硅抛光片质量水平已达到6″硅外延片产品生产要求。(Semi标准)
C.公司使用美国GEMMI外延炉研制并生产过硅外延片,有一定的技术基础。
D.本项目使用氯硅烷氢还原工艺,技术比较成熟。只要引进先进的6″、8″硅外延片生产系统及部分测试仪器即可完成单晶硅制备——切、磨、抛制备——外延片制备的最终产品。
E.洛硅公司曾与MEMC公司合资建立硅片加工厂,具有全套的硅片加工体系、ISO9002通过国际质量认证。
F.硅外延片质量要依赖硅抛光片质量,此技术复杂,要求技术条件高,只有像洛硅公司这样的硅片加工技术才能满足其技术要求,进行硅外延片生产。
行业及市场
1、国内6″、8″IC厂和分立元件厂,在2000—2005新建和在建生产线约45条,
月用6″硅抛光片(含外延片)60-70万片,8″硅抛光片月用量45万片。
2、目前除一些IC厂自备一些硅外延片生产设备外,国内尚未有一条完整、规模化的
6″、8″硅外延片的生产线。6″、8″硅外延片主要从国外一些大的硅公司进口。
3、硅外延片在IC业和分立元件业使用量占硅抛光片总量70-80%,由于5″、6″IC生产线和分立元件生产线从国外大量向中国大陆转移,目前呈现6″硅外延片产品短缺、价格上升趋势。
融资说明
总投资:5.6亿元人民币;注册资本:1.5亿元人民币。
出资方式:中方:土地、注册资金、技术、管理。
外方:资金、技术、设备。
比例:双方协商。
财务预测
产品 |
产量 |
市场价格 |
销售额 |
利
润 |
6″epi |
130万片/年 |
50-60美元/片 |
6500万美元 |
>20% |
8″epi |
20万片/年 |
90-100美元/片 |
2000万美元 |
>20% |
风险分析
为预防投资风险,本项目最终产品为6″、8″外延片产品,而epi 前期产品6″、8″IC级 硅单晶、硅切割片、硅研磨片、硅腐蚀片、硅抛光片均可作为商品进入IC业和分立元件业市场。只是其技术含量和工艺复杂程度不同,其各类产品市场价格不同。根据半导体产业特点,CZ法IC用硅单晶的产品利润最低也可达到10%以上。因此本项目建设一条具有硅单晶产品制备、硅抛光片产品制备和硅外延片产品制备完整产品链的现代化工厂是最抗风险能力的企业,这也是国际上几个大的半导体硅材料公司的共同特点。